型　名	M-320XG
測定球	XG-1クリスタルゲージヘッド（クリスタルゲージ専用）
測定圧力範囲	1×10^-2Pa ～大気圧
Gas種選択	N₂、Ar、H₂、Air
アナログ出力（圧力信號）	DC 0 - 10 V：デジットスイッチにより下記項目出力形式設定 ①Log出力 ②複合出力 ③リニア出力　フルスケール圧力レンジ選択可能（1×10¹、1×10²、1×10³、1×10⁴、1×10⁵Pa）
リモートI/O	INPUT	①ガス種設定　2bit信號で切換 ②ゼロ點調整 ③ATM設定
	OUTPUT	セットポイント出力2點
セットポイント	2點（フォトカプラ出力、ヒステリシス固定）デジットスイッチにより設定（SP1、SP2共仮數部、指數部）
動作環境	5 ℃ ～ 50 ℃（コントローラー含む）ゲージヘッドのみの耐熱溫度150℃MAX
ゼロ點調整	PUSHスイッチ又は、リモートI/O入力によるソフトウェアゼロ調整
フルスケール調整	トリマーボリュームによる調整
入出力コネクタ	Dsub 15P
表示	LED 3ヶ（PWR／ALM???緑／赤の2色発光、SP1-Status???緑、SP2-Status???緑）
所要電力	DC 22 V ～ 33 V、（最大消費電力2 W）
外形寸法（mm）	72.5H×102W×44.5D（ゲージヘッド含まず）
質量	200 g（ゲージヘッド含まず）
センサー取り付けフランジ	NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF等

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